长鑫存储研发量测工程师-TD Metrology Engineer(J16223)
任职要求
1.半导体相关经验2年以上; 2.硕士及以上,工学,化学,物理,材料,半导体器件,微电子等专业; 3.富有探索精神,积极主动,追求卓越; 4.善于以创新方式解决问题…
工作职责
1.参与新产品的研发,负责设计及开发先进半导体制程量测方案; 2.熟悉工艺流程及各种量测原理, 并熟练通过多种测量技术交叉使用及数据图像处理技术等,开发实时、灵敏与高效的在线检测方法,协助工艺开发及控制制程工艺的稳定; 3.熟练运用MSA手段对量测结果进行验证; 4.PFA/TEM 实验申请及报告解读; 5.在线量测异常 (如:生产线突发异常, SPC报表异常…等)诊断。
1.负责部门运营指标的监控和维护,保障生产效率和指标优化; 2.制定人员培训计划,严格把控培训进度,提升团队专业能力; 3.CIM系统开发和应用,参与EAP、MES、SPC等生产系统优化,提升生产致智化能力; 4.跨部门沟通协调资源,保证业务顺利运营; 5.研发量测运营相关项目推进。
1. 新工艺量测方案制定:参与新产品的研发,主导工艺量测方案的制定与管理,执行制程量测方案,确保量测数据准确支持工艺开发; 2. 新设备评估与导入:配合新工艺开发需求,主导新量测设备的评估、验证与导入,确保设备满足研发技术要求; 3. 量测方案优化:推动量测方案的持续改善与优化,确保产线数据真实性,服务于产品工艺改善与良率提升; 4. 异常侦测与闭环:侦测量测数据及SPC相关异常事件,寻找根因,并推动工艺与工艺整合工程师进行改善闭环; 5. 数据分析与系统优化:运用统计学方法进行数据分析,优化量测数据分析系统,强化数据关联性,推动量测流程的智能化迭代。
1.熟悉光刻工艺流程,熟悉光刻相关overlay control原理; 2.熟悉APC/R2R 原理; 3.熟悉IBO/DBO Mark设计及评估,了解光源信息,了解OPC相关知识; 4.熟练setup A750 OVL recipe 并进行ARO 对recipe进行verification; 5.熟练使用EDA 软件进行DB output, 了解DRC; 6.熟练运用MSA 手段对量测结果进行验证; 7.熟练setup CDSEM recipe(AMAT/HITACHI); 8.PFA/TEM 实验申请及报告解读; 9.在线量测异常(如:生产线突发异常,SPC报表异常等)诊断; 10.熟悉统计学基本原理。
1. 量测方案制定与管理:参与新产品研发,主导工艺量测方案的制定与管理,执行制程量测方案,确保量测条件满足研发需求; 2. 新设备评估与导入:配合新工艺开发需求,主导量测新设备的评估、验证与导入,推动设备能力满足工艺目标; 3. 量测方案优化:持续改善和优化量测方案,确保产线数据的真实性与准确性,服务于产品工艺改善与良率提升; 4. 异常侦测与根因分析:及时侦测量测数据及SPC相关异常事件,定位root cause,推动PE/PIE团队进行改善并闭环; 5. 数据分析系统优化:运用统计学方法进行数据分析,优化量测数据分析系统,强化数据关联性,推动量测分析智能化。