
长江存储CMP工艺研发工程师(J13704)
任职要求
任职资格 1. 要求具备材料、物理、化学或其他相关技术领域的硕士或博士学位,或具备学士学位且有 3 年半导体的化学机械研磨工作经验。 2. 了解半导体制造工艺、材料、物理、器件及概念,具有 3 年以上12英寸40纳米及以下工艺开发和经验者优先。 3. 对相关工艺模块中的物理、化学和工程原理有透彻的理解,具备统计分析数据的能力。 4. 精通数据分析、实验设计(DOE)和统计技术,具备扎实的故障排除、实验设计和过程控制技能,能够运用在线和离线数据。 5. 出色的沟通、分析、报告撰写/展示以及团队建设能力。 6. 积极主动,自律性强,具备在多任务和动态环境中工作的能力,且有相关经验。 7. 优先考虑具有先进半导体晶圆厂研发或生产,以及相关工艺模块领域新型存储技术开发经验的人员。
工作职责
岗位职责: 1. 负责半导体产品相关工艺模块中CMP(化学机械研磨)工艺开发工作。 2. 在相关工艺模块中开发并改进工艺流程和配方,以满足产品结构、电气和可靠性要求。 3. 设计并管理实验设计(DOE)实验,以分析、提取、报告和得出结论,从而优化关键流程并确定后续行动。 4.与工艺集成、设备、YE、YAE 和制造部门互动,以解决工艺/技术差距以及良率/利润率和成本方面的问题。 5. 结合本部门研发计划配合制定产品路线图,并制定与之相匹配的技术路线图,以满足下一代产品节点的要求。 6. 评估常规离线、在线、WAT(晶圆接受测试)、SORT(分选测试)、可靠性以及后端数据,以支持多职能故障分析,从而了解缺陷的根本原因和故障模式,提高良率和可靠性。 7. 参与晶圆/批次和实验管理,处理工厂偏差,确保项目顺利执行。 8. 对新机台,新工艺做先导性研究并给出评估建议,以降低整体工艺成本,与设备供应商合作开发新工具,以满足技术发展的需求。 9. 负责安排研发线CMP工艺日常维护及研发线产能拓展,服从并及时完成交付上级安排的任务。 10. 查阅技术文献,深入了解与项目相关的主题,指导问题解决和开发方向,为项目知识产权做出贡献。
1、负责新产品 CMP (化学机械抛光) 工艺技术的研究与开发; 2、与设计、器件、工艺整合及可靠性部门紧密合作,以满足新产品工艺在电性、可靠性、良率和成本方面的要求; 3、负责新机台和新材料的合作研发、评估与开发,并配合未来技术开发线的建立与实施; 4、负责与量产部门合作进行技术转移,以最大限度缩短新产品的量产周期;
1. 负责CMP工艺的研发与优化,确保工艺的稳定性和一致性,以满足半导体器件的高精度制造需求; 2. 通过数据分析,监控CMP工艺过程中的参数,确保产品质量,减少缺陷率,提高良品率; 3. 当遇到工艺问题时,进行故障排查,分析原因,提出并实施有效的解决方案; 4 参与跨部门项目,与材料供应商、设备制造商等合作,共同推进新技术和新材料的应用。
1.熟悉CMP及减薄相关工艺原理,解决工艺异常,维护并持续优化工艺稳定性 2.新技术导入、工艺参数及操作规范的建立及维护、大量生产制程控制 3.依据工艺整合的需求,对工艺中存在的课题进行攻关,拓展工艺窗口,提升产品良率及性能 4.引入和评估新材料、新机台、新功能,并降低工艺成本 5.熟练使用各种质量管理工具和数据分析软件

As a TD Module Engineer, you will be responsible for rapid deployment of innovative memory process technologies, drive development efforts prior to device ramp, define & execute effective actions to enable solutions required to hit key milestones & achieve the required performance within timelines. 1)Process develop and continue improve,Set up process requirement 2)Process window enlarge 3)New tool evaluation 4)Cycle time reduction and cost down 5)Maintain process stable