长鑫存储量测工艺工程师｜MET Process Engineer(J10255)
任职要求
1. 3年及以上半导体行业工作经验。 2. 有量测机台Recipe setup经验，熟悉PV2E、EP5、OVL/CD/Thickness/X-Ray或OCD/AFM等设备者优先。 3. 熟悉MSA系统、SPC与审核流程
工作职责
1. 构建与设定PV2E、EP5、OVL、CD、THK、XRF、RS、XPS、OCD、AFM等量测设备的Recipe。 2. 诊断并排除在线量测异常，包括生产线突发异常、SPC报表异常等。 3. 维持与优化设备稳定性与可靠性。 4. 操作MSA系统并执行审核作业。 5. 收集与解读实验数据。 6. 处理PFA/TEM实验申请及报告解读。 7. 负责BR/PCRB申请。
1. Recipe(THK, XRF, RS, XPS或OCD, AFM等)建构与设定； 2. 在线量测异常(如:生产线突发异常, SPC报表异常…等)诊断與排除； 3. 机台稳定度可靠度维持与优化； 4. MSA系统操作与稽核作业； 5. 实验资料搜集与判读； 6. PFA/TEM实验申请与报告判读.
1. 参与新产品的研发,工艺量测的制定和管理, 执行制程量测方案； 2. 配合新工艺开发需要，评估，导入新设备； 3. 量测方案的改善以及优化,确保产线数据的真实,服务于产品工艺改善与良率提升； 4. 量测数据以及SPC相关异常事件及时侦测，寻找root cause, 并推动PE/PIE进行改善； 5. 运用统计学方法数据分析，优化量测数据分析系统,强化数据关联性,推动其智能化。
深入业务视角，以多模态大数据建模及计算物理仿真为基础，借助AI赋能，帮助半导体工程/工艺/元件特性先行预测与优化，提升工程/工艺/元件研发效率。 工作职责： 1.基于半导体工程/工艺/元件研发需求，开发AI Agent，实现研发流程的自动化与智能化； 2.结合大模型技术（如LLM、多模态大模型等），构建智能化的业务交互与决策系统，提升研发效率； 3.基于产品全生命周期的生产大数据，开发根因查询（RCA）、虚拟量测（VM）、高级工艺控制（APC）、高级机台控制（AEC）等智能化解决方案； 4.开发基于业务驱动的智能工程/工艺/元件设计优化工具，结合物理信息神经网络（PINN）、复杂结构数字孪生、先进材料自动选型等技术，实现研发创新； 5.与半导体研发工程师深入合作，理解业务逻辑，打通数据流，设计并开发能够替代工程师重复操作的AI Agent； 6.探索大模型及AI Agent在半导体研发中的应用场景，推动AI技术与业务需求的深度融合。
1. 熟悉光刻工艺流程，熟悉光刻相关overlay control原理； 2. 熟悉APC/R2R 原理； 3. 熟悉IBO/DBO Mark设计及评估，了解光源信息，了解OPC相关知识； 4. 熟练setup A750 OVL recipe 并进行ARO 对recipe进行verification； 5. 熟练使用EDA 软件进行DB output, 了解DRC； 6. 熟练运用MSA 手段对量测结果进行验证； 7. 熟练setup CDSEM recipe(AMAT/HITACHI)； 8. PFA/TEM 实验申请及报告解读； 9. 在线量测异常(如:生产线突发异常, SPC报表异常…等)诊断； 10. 熟悉统计学基本原理。