长鑫存储光刻设备专家-LITHO Equipment Expert(J16805)

1. 熟悉各厂商光刻机设备结构及工作原理，包括ASML, Canon, Nikon、TEL、KSM等； 2. 熟悉光刻机对准系统原理及其零部件，熟悉高精度运动平台原理及其零部件； 3. 对现有的设备提出或者参与改造以达成特定目标，定期组织和厂商技术交流，掌握业界设备最新的信息； 4. 与多部门合作，从设备、工艺、量测角度解决半导体先进工艺面临的对准和OVL套刻挑战； 5. 提出创新工艺的方法，制定落地计划并验证实施；

1.设备全周期管理：基于研发需求制定先进设备选型方案，主导设备导入、调试及持续优化；通过设备寻源/改造及严格验证（如匹配工艺参数），提升机台产能与良率； 2.供应商体系构建：设计厂商评估标准（技术/服务/成本），制定分阶段设备导入计划；联合厂商研发定制化设备； 3.技术攻坚：解决光刻机台稳定性问题（如overlay精度、defect控制）。

1. 机台维护与保养：主导光刻机台的日常维护与保养工作，确保设备处于最佳运行状态； 2. 故障排除与稳定性提升：负责机台故障的快速排除及根因分析，持续提升机台运行的稳定性； 3. 持续改善计划执行：执行机台及其零部件的持续改善计划，降低故障率并延长设备寿命； 4. 跨部门协作改善良率：配合工艺及工艺整合部门，协同推动良率改善行动。

1.设备运维管理：确保光刻设备稳定运行，制定维护计划，及时处理故障； 2.技术升级与改造：主导设备翻新、升级项目，优化设备性能以满足生产需求； 3.团队管理：负责工程师招聘、培训及绩效考核，提升团队技术水平； 4.良率与效能提升：监控设备验证效能，推动工艺改进以提高产品良率； 5.跨部门协作：协调生产、研发等部门，确保设备与生产计划匹配。