长鑫存储光罩数据研发工程师/专家 | TD Mask Data Engineer/Expert(J13519)
1. Frame 布局设计及 marK设计; 2. Kerf rule building; 3. Mask tape-out 流程自动化开发; 4. 提供产品框架图设计的解决方案;
1.负责新产品制程技术的研发和维护,包含光刻/光罩/蚀刻/清洗/化学机械研磨/扩散/离子注入/薄膜等; 2.与设计/器件/工艺整合和可靠性等相关部门通力合作,满足新产品制程的电性/可靠性/良率与成本要求; 3.主导新型机台和新型材料的合作研发和评估开发,协同制定和实现未来的技术发展线路; 4.负责研发效率提升以缩短新产品研发周期,包含工艺仿真开发/研发数据智能分析/项目资源管理等; 5.负责与量产部门的无缝技术转移,以尽量缩短新产品上市周期。
1.进行先进CMOS工艺平台研发工作。 2.开发CMOS工艺的PDK(Design Rule, EDR, Device Model...),同时整合优化制程与前后道工艺实现兼容,最终实现高速低漏电的电学性能能,高可靠性的终端产品要求。 3.新产品导入以及良率提升。从与design合作开始参与新产品设计评估;与tapeout team合作设计testkey,tape out光罩;与制程和生产部门合作pilot run;不断进行工艺整合的优化升级,提升电学性能,可靠性能以及良率
1.进行基于DRAM制程的HKMG工艺平台整合研发工作。与Design和Device Team根据高性能DRAM的产品需求,提炼出对器件的关键尺寸要求,电性要求和可靠性要求;领导Device以及Module等研发部门通过技术创新,新机台引进,开发出适用于DRAM工艺平台high thermal budget特点的件; 2.开发HKMG工艺的PDK(Design Rule, EDR, Device Model...)应用到NN,N+1,N+2代DRAM平台,同时整合优化制程与前后道工艺实现兼容,最终实现高速低漏电的电学性能能,高可靠性的终端产品要求; 3.新产品导入以及良率提升。从与design合作开始参与新产品设计评估;与tapeout team合作设计testkey,tape out光罩;与制程和生产部门合作pilot run;不断进行工艺整合的优化升级,提升电学性能,可靠性能以及良率。