长鑫存储化学机械研磨设备开发专家 | CMP Equipment TD Expert(J14110)
1. 负责CMP工艺的研发与优化,确保工艺的稳定性和一致性,以满足半导体器件的高精度制造需求; 2. 通过数据分析,监控CMP工艺过程中的参数,确保产品质量,减少缺陷率,提高良品率; 3. 当遇到工艺问题时,进行故障排查,分析原因,提出并实施有效的解决方案; 4. 为研发团队提供CMP工艺的技术指导,协助解决生产中遇到的问题,提升生产效率; 5. 参与跨部门项目,与材料供应商、设备制造商等合作,共同推进新技术和新材料的应用; 6. 对新员工进行CMP工艺的培训,分享专业知识和实践经验,提升团队整体技术水平。
1、工艺开发与优化: 负责封装CMP(化学机械研磨)工艺的开发和优化,确保工艺参数满足产品性能和良率要求。 针对不同材料(如铜、钨、氧化硅等)开发相应的CMP工艺解决方案。 参与封装技术(如WLCSP等)的CMP工艺开发,支持新产品导入。 2、设备与耗材管理: 负责CMP设备(如研磨机、抛光机等)的选型、调试和日常维护,确保设备稳定运行。 评估和选择CMP耗材(如研磨液、研磨垫等),优化耗材使用效率,降低成本。 3、质量控制与良率提升: 分析CMP工艺中的质量问题,制定改进措施,提升产品良率。 参与制定CMP工艺的质量控制标准,确保工艺稳定性。 4、团队指导与技术支持: 指导团队成员完成CMP工艺相关的工作,提升团队整体技术水平。 为其他部门提供CMP工艺技术支持,解决生产过程中遇到的技术问题。 5、文档编写与报告: 编写CMP工艺相关的技术文档、操作规程和培训材料。 定期提交工艺开发和优化的进展报告,向管理层汇报工作成果。

岗位职责: 1. 负责半导体产品相关工艺模块中CMP(化学机械研磨)工艺开发工作。 2. 在相关工艺模块中开发并改进工艺流程和配方,以满足产品结构、电气和可靠性要求。 3. 设计并管理实验设计(DOE)实验,以分析、提取、报告和得出结论,从而优化关键流程并确定后续行动。 4.与工艺集成、设备、YE、YAE 和制造部门互动,以解决工艺/技术差距以及良率/利润率和成本方面的问题。 5. 结合本部门研发计划配合制定产品路线图,并制定与之相匹配的技术路线图,以满足下一代产品节点的要求。 6. 评估常规离线、在线、WAT(晶圆接受测试)、SORT(分选测试)、可靠性以及后端数据,以支持多职能故障分析,从而了解缺陷的根本原因和故障模式,提高良率和可靠性。 7. 参与晶圆/批次和实验管理,处理工厂偏差,确保项目顺利执行。 8. 对新机台,新工艺做先导性研究并给出评估建议,以降低整体工艺成本,与设备供应商合作开发新工具,以满足技术发展的需求。 9. 负责安排研发线CMP工艺日常维护及研发线产能拓展,服从并及时完成交付上级安排的任务。 10. 查阅技术文献,深入了解与项目相关的主题,指导问题解决和开发方向,为项目知识产权做出贡献。