长鑫存储薄膜介电制程部经理 I TF DCVD PE Dept. Manager(J16232)
1、负责新型薄膜材料及工艺的研发,优化薄膜沉积(如CVD、PVD、ALD等)工艺参数,提升器件性能及良率;设计并执行DOE实验,分析工艺窗口,推动薄膜工艺的持续改进; 2、对薄膜材料特性(如厚度、应力、均匀性)、缺陷数据及电性测试结果进行深度分析,识别关键影响因素;主导薄膜相关异常问题的根因分析,制定解决方案并验证; 3、与器件设计、整合、制造等部门紧密合作,确保薄膜工艺满足产品性能需求;支持新工艺从研发到量产的转移,协助解决量产过程中的工艺问题; 4、跟踪薄膜技术领域前沿进展,评估新工艺、新材料的可行性; 5、熟悉薄膜设备硬件架构,参与设备选型及调试,提升工艺稳定性;
1.运用薄膜区化学气相沉积设备、物理气相沉积设备、快速升温工艺设备、铜工艺设备相关知识与经验,进行问题分析,异常排除; 2.运营、安装、检验薄膜区各式装置,进行设备日常保养及维护管理工作; 3.定期监控产能利用率,收益率, E/T, FAB数据等。

As a TD Module Engineer, you will be responsible for rapid deployment of innovative memory process technologies, drive development efforts prior to device ramp, define & execute effective actions to enable solutions required to hit key milestones & achieve the required performance within timelines. 1)Process develop and continue improve,Set up process requirement 2)Process window enlarge 3)New tool evaluation 4)Cycle time reduction and cost down 5)Maintain process stable